方案概述
管式PECVD上下料机是将硅片从承载盒中自动装载至PECVD石墨舟或从PECVD石墨舟中自动装载硅片至硅片承载盒中
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方案特色
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碎片率降低
重复精度定位精准，与传统装卸片相比，大幅度降低碎片率
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高重合精度
高速以太网 高响应定位，动作过程中与硅片接触搬运过程中均轻柔动作，以减少碎片
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